در سال ۲۰۱۹، ام۱۲ (۲۱۰ میلی متر در ۲۱۰ میلی متر) ویفرهای مونو نوع p (شینگ سیلیکونی به قطر ۲۹۵ میلی متر) لاوچ شد. 6" فرمت M2 (156.75mm x 156.75mm) انتظار می رود توسط M12 و M6 قرار داده شود.
1 خواص مواد
اموال | مشخصات | روش بازرسی |
روش رشد | Cz | |
بلوری بودن | منکریستللین
| تکنیک های Etch ترجیحی（اس تی ام اف۴۷-۸۸） |
نوع هدایت | نوع P | ناپسون EC-80TPN P/N |
دوبانت
| بور، گالیوم
| - |
غلظت اکسیژن[Oi] | ≦8E+17 در / سانتی متر3 | اف تی آر (ASTM F121-83) |
غلظت کربن[Cs] | ≦5E+16 در / سانتی متر3 | اف تی آر (اس تی ام اف۱۲۳-۹۱) |
چگالی چاله اتش(تراکم دریدن) | ≦۵۰۰ سانتی متر-3 | تکنیک های Etch ترجیحی（اس تی ام اف۴۷-۸۸） |
جهت گیری سطح | <100>±3° | روش پراش اشعه ایکس (ASTM F26-1987) |
جهت گیری کناره های مربع شبه | <010>,<001>±3° | روش پراش اشعه ایکس (ASTM F26-1987) |
2 خواص الکتریکی
اموال | مشخصات | روش بازرسی |
مقاومت | 0.5-1.5 Ωcm | سیستم بازرسی ویفر |
MCLT (طول عمر حامل اقلیت) | ≧50 میکروس | سینتون بی سی تی-۴۰۰ (با سطح تزریق: 1E15 سانتی متر-3) |
3 هندسه
اموال | مشخصات | روش بازرسی |
هندسه | مربع کامل | |
طول ویفر ساید | 210±0.25 میلی متر | سیستم بازرسی ویفر |
قطر ویفر | φ295±0.25 میلی متر | سیستم بازرسی ویفر |
زاویه بین کناره های مجاور | 90° ± 0.2° | سیستم بازرسی ویفر |
ضخامت | 180﹢20/﹣10 میکرومتر; 170﹢20/﹣۱۰ میکرومتر | سیستم بازرسی ویفر |
تی تی وی (تنوع ضخامت کل) | ≤27 میکرومتر | سیستم بازرسی ویفر |
4 خواص سطحی
اموال | مشخصات | روش بازرسی |
روش برش | Dw | -- |
کیفیت سطح | به عنوان برش و تمیز, هیچ آلودگی قابل مشاهده, (روغن یا گریس, اثر انگشت, لکه صابون, لکه های دوغاب, لکه های اپوکسی / چسب مجاز نیست) | سیستم بازرسی ویفر |
علائم اره / مراحل | ≤ 15μm | سیستم بازرسی ویفر |
تعظیم | ≤ ۴۰ میکرومتر | سیستم بازرسی ویفر |
تار | ≤ ۴۰ میکرومتر | سیستم بازرسی ویفر |
تراشه | عمق ≤.3mm و طول ≤ 0.5mm حداکثر 2 / کامپیوتر; بدون V تراشه | چشمان برهنه یا سیستم بازرسی ویفر |
میکرو ترک / سوراخ | مجاز نیست | سیستم بازرسی ویفر |
تگ های محبوب: p نوع m12 ویفر خورشیدی monocrystalline، چین، تامین کنندگان، تولید کنندگان، کارخانه، ساخته شده در چین
